ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
根據粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空氣潔凈度分級標準： ISO14644-1 （國際標準）
|
空氣潔凈度等級（N） |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） |
|||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
|
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
||
|
ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
||
|
ISO Class 9 |
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
||
|
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。 |
||||||
空氣潔凈度分級標準： GB/T16292-1996 （中國標準）
|
粒徑、數值潔凈度級別 |
塵埃最大允許數/立方米 |
微生物最大允許數 |
||
|
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
|
100 級 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
|
10,000 級 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
|
100,000 級 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
|
300,000 級 |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
美國聯(lián)邦標準 209D 潔凈室分級：（已停用）
|
空氣潔凈度等級（N） |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） |
||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
5 um |
|
|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
|
|
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
|
|
100 |
|
750 |
300 |
100 |
|
|
1000 |
|
|
|
1000 |
7 |
|
10000 |
|
|
|
10000 |
70 |
|
100000 |
10000 |
700 |
|||
英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級：
|
空氣潔凈度等級（N） |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） |
||||
|
0.3um |
0.5um |
5um |
10um |
25 um |
|
|
C |
100 |
35 |
0 |
|
|
|
D |
1000 |
350 |
0 |
||
|
E |
10000 |
3500 |
0 |
||
|
F |
|
3500 |
0 |
||
|
G |
100000 |
35000 |
200 |
0 |
|
|
H |
|
35000 |
200 |
0 |
|
|
J |
|
350000 |
2000 |
450 |
0 |
|
K |
|
3500000 |
20000 |
4500 |
500 |
|
L |
|
|
200000 |
45000 |
5000 |
|
M |
|
450000 |
50000 |
||
各種國際標準的比較：
|
美國聯(lián)邦 |
美國聯(lián)邦 |
英國標準 |
澳大利亞標準 |
法國標準 |
德國標準 |
國際標準 |
日本標準 |
|
標準 209D |
標準 209E |
BS5295 |
AS1386 |
AFNORX44101 |
VDI2083 |
14644-1 |
JACA24 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
1 |
|
|
|
|
|
— |
0 |
2 |
2 |
|
1 |
M1.5 |
C |
0.035 |
— |
1 |
3 |
3 |
|
10 |
M2.5 |
D |
0.35 |
— |
2 |
4 |
4 |
|
100 |
M3.5 |
E |
3.5 |
4000 |
3 |
5 |
5 |
|
1000 |
M4.5 |
G |
35 |
— |
4 |
6 |
6 |
